SI-F 系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計應用
在自動化應用和傳感應用中無可挑剔的表現。
測量晶片厚度
微型傳感頭可用于測量硅晶片等精密物體的厚度和翹曲度。
[優點]
超高分辨率
0.25 μm 的分辨率
多功能控制器
算術運算電路將測量數據即時轉換為厚度。
不發熱
傳感頭中沒有電子部件，不會產生熱量。
測量復印機中的輥的動作。
微型傳感頭可用于測量復印機等精密機械中的各個部件的動作。
[優點]
?2 mm 微型傳感頭
無需預留安裝位置。
最高可承受 85°C
即使緊靠發熱的機身也能進行測量。
5 kHz 高速采樣
即使是高速工件也可安全地測量。
定位高精度載物臺
微型傳感頭可用于檢測載物臺停止的位置，因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關設備。
[優點]
10 mm 以上的設定距離
無碰撞危險。
最多 6 軸同時測量
實現無時間誤差的多軸控制。
?8 mm 小型傳感頭
無需預留安裝位置。
高精度測量輥的偏轉。
微型傳感頭可用于測量各種要求精確測量的輥（例如膠輥）的偏轉。
[優點]
對工件無傷害
非接觸測量方式避免損傷工件。
直接表示偏轉度
控制器即時算出并顯示偏轉度。
5 kHz 高速采樣
可緊跟高速旋轉的工件。
測量曝光掩模的間隙
微型傳感頭可用于測量曝光掩模和玻璃基板的間隙。
[優點]
80 mm 的設定距離
即使掩模較厚亦可安裝微型傳感頭。
?12 mm 小型傳感頭
無需預留安裝位置。
不發熱
傳感頭中沒有電子部件，不會產生熱量。
測量玻璃盤的厚度
微型傳感頭可用于測量玻璃盤等光學透明物體的厚度。
[優點]
超高分辨率
0.25 μm 的分辨率
5 kHz 高速采樣
可測量高速旋轉的工件的厚度。
最多 6 軸同時測量
實現無時間誤差的多軸控制。
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